小型干冰清洗机可以进行精密的工业设备清洗吗?

小型干冰清洗机可以进行精密的工业设备清洗吗?在工业设备清洗中,对于大型设备的清洗反而简单,一般只需要增加清洗设备的压力。而在精密的工业设备清洗中,如硅片,压力过大就会造成损坏。而干冰清洗机采用纯物理的无污染非研磨清洗,小型干冰清洗机也可以进行硅片等精密工业设备的清洗。

作为制造光伏电池和集成电路的基础,硅片的清洗非常重要。清洗效果直接影响到光伏电池和集成电路的最终性能、效率和稳定性。

清洗硅片不仅要去除硅片表面的杂质,还要对硅片表面进行钝化处理,降低硅片表面的吸附能力。理论上,高质量硅片表面不存在颗粒、金属离子、有机附着、水蒸气和氧化层。此外,要求硅片表面具有原子级平整度,硅片边缘的挂键通过氢键终止。目前,由于硅片清洗技术的缺陷,大规模集成电路(LSI)在许多领域得到了广泛的应用

由于硅材料的清洁度不够,出现问题甚至失效的比例达到50%,因此有必要对硅片的清洗工艺进行优化。

硅片可以用干冰清洗吗?

当温度超过31.1℃,压力达到7.38mpa时,CO2处于超临界状态,可以实现气固转换。二氧化碳通过喷嘴突然从气缸中喷出,压力下降,体积迅速膨胀,二氧化碳的恒定焓发生变化。二氧化碳的气液混合物产生固体干冰颗粒,从而实现硅片的清洗。干冰颗粒去除颗粒物和有机物杂质的机理不同。

采用干冰微粒清洗技术对硅片进行清洗效果十分理想,而且对硅片表面无损害,不会污染环境,是一种理想的清洗技术。

 

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